
检流计/扫描振镜(Galvanometer/GalvoScanner)是一种实现高精度光束偏转的光机电一体化装置,由电机、反射镜和位置探测器组成。其工作原理基于电磁驱动与光电检测:当电流通过线圈时,通电线圈在磁场中会受到电磁力矩作用,从而使电机驱动与之相连的反射镜产生偏转,同时通过检测投影在光电探测器上的光强变化精确反馈偏转角度。如今检流计广泛应用于激光加工、光学成像、3D扫描、生物医学等领域。
位置检测器是检流计的核心部件之一,它集成于检流计的底部,通常为一组高度定制化的四象限光电探测器(QPD),其有着高分辨率、高灵敏度、快速动态响应等优点。在检流计中,电机、LED、遮光片和QPD四者的中心同轴,当电机轴转动时遮光片也会随之旋转,通过检测QPD上的光斑可以计算出反射镜的实时偏转角度。

QPD就像检流计的“眼睛”,能实时监测反射镜的位置变化,并将数据反馈给控制系统。这种实时反馈让系统能快速、高效地修正机械误差、温度变化或惯性带来的偏差,确保激光加工的高精度和稳定性。无论是微米级的精细加工、复杂图案雕刻,还是高速运动控制,都离不开它的精准“纠错”能力。
