位移探测器通过横向效应或不同像元间的电流差用来检测光斑移动位置，分辨率最高可达0.1μm以下。位移探测器分为象限式PD和PSD两种类型，象限式PD更适合于光斑对准应用，而PSD更容易获得绝对位置，根据选择材料的不同(Si、InGaAs、MCT)可满足不同应用需求。
|
二象限探测器二象限探测器是由极小间隔的两个具有公共衬底的PD所组成。当线光斑同时照射到两个象限能够产生不同的光电流信号，通过计算即可精确获得光斑一维坐标。 应用：机床测量、精密位移测量、表面轮廓测量等。 |
.png)
|
四象限探测器QPD是一种光敏面分为四个象限，相邻区域间隔极小且具有公共衬底的PD或APD。规则形状的信号光斑同时照射到四个象限能够使象限各自产生不同的光电流信号，通过计算即可精确获得光斑二维坐标。该探测器位置分辨率最高可达0.1μm以下，受信噪比影响较小，非常适合对准精度要求较高的应用领域。 应用：光斑对中、精密位移测量、震动检测、角度测量、眼球追踪、制导等。 |
|
PSD探测器PSD探测器利用横向效应测量光斑重心与探测器边缘之间的光电流信号来得到光斑一维或二维的坐标信息。相较于QPD有更高的动态范围、量程和线性度，可有效屏蔽光斑形状不规则对测量精度的影响。 应用：光斑校准、位移测量、角度测量、运动分析、三角测距等。 |
|
|
|
|